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    高純氨應(yīng)用原理是什么?

    【1】? Ga(CH3)3+ NH3?→ GaN + 4CH4

    這個反應(yīng)是制造發(fā)光二極管(LED)外延芯片的氮化鎵的基 礎(chǔ),反應(yīng)在昂貴的 MOCVD (有機金屬氣相沉積)設(shè)備上完成。山東青島。

    【2】? 3SiH4?+ 4NH3→ Si3N4?+ 12H2

    這個反應(yīng)是制造氮化硅(Si3N4?)的基礎(chǔ),由硅烷(SiH4?)和高純氨在較高溫度下,在化學(xué)氣相沉積(CVD)設(shè)備中進行反應(yīng),此反應(yīng)也需要相當數(shù)量的高純氨氣。山東青島。

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    魯東氣體在山東青島有設(shè)有多個高純氨氣氣體供應(yīng)站點,高純氨氣站點有:高純氨氣城陽站,高純氨氣嶗山站,高純氨氣黃島站,市北區(qū),市南區(qū),李滄區(qū),李村,即墨,高新區(qū)等等。

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