高純氧氣標準是什么
高純氧氣標準是什么？
高純氧技術標準
| 項目 | 指標 | 優(yōu)等品 | 一等品 | 合格品 |
| 氧純度，10-2 | ≥ | 99.999 | 99.998 | 99.995 |
| 氬含量，10-6 | ≤ | 2 | 5 | 10 |
| 氮含量，10-6 | ≤ | 5 | 10 | 20 |
| 二氧化碳含量，10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 1 |
| 總烴含量（以甲烷計），10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 水分含量，露點℃10-6 | ≤ | -72 | -70 | -69 |
| 2 | 2.5 | 3 |
高純氧主要用于標準混合氣的制備、科學研究、集成電路和半導體器件的生產(chǎn)，也適用于對氧氣純度較高的氣體領域。
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