高純電子氣體

電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數量和質量與發達國家相比，尚有較大差距。

隨著半導體和微電子工業的迅猛發展，對電子氣體的品種、數量、質量及純度提出了更高的要求。隨著近年來國防工業、科學研究、自動化技術、精密檢測，特別是微電子技術的發展，特種氣體行業新興起來。特種氣體是工業氣體中的一個新興門類，從應用領域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標準氣體三大類。

高純電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料制造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，被業內稱為電子工業的“血液”和“糧食”。

電子氣體多以集中式供應為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統的數量是根據機臺對流量的需求進行合理配置。特氣輸送設備必須采用全自動切換供氣，而且多設計了備用設備。對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機臺用氣點也都配置了質量流量計。

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